中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

簡(jiǎn)要描述：中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15
應(yīng)用
電子、半導(dǎo)體制造裝置（EB裝置等）
新一代半導(dǎo)體設(shè)備的研究開(kāi)發(fā)
其他納米科技研究

訪問(wèn)次數(shù)：1064

所屬分類：測(cè)量?jī)x.檢測(cè)器

更新時(shí)間：2021-06-21

廠商性質(zhì)：代理商

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詳情介紹

產(chǎn)地類別	進(jìn)口

主要特征
材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐熱性、低熱膨脹系數(shù)等特性，能適合在特殊環(huán)境下使用保證高精度、可靠性。
Al2O3的復(fù)合材料能在真空、非磁性條件下使用
導(dǎo)軌部件使用Si3N4材料制成，具有很好的平滑性能，可以省去使用潤(rùn)滑油，避免了污染真空環(huán)境，影響真空度
適用zui高真空度10－5Pa的環(huán)境

應(yīng)用
電子、半導(dǎo)體制造裝置（EB裝置等）
新一代半導(dǎo)體設(shè)備的研究開(kāi)發(fā)
其他納米科技研究

線性馬達(dá)規(guī)格

參數(shù)	AME-15	AME-25	AMH-13	AMH-15	AMH-25
移動(dòng)量	0～15mm	0～25mm	0～13mm	0～15mm	0～25mm
分辨率	0.0001mm		-
位置精度	0.01mm		-
zui大速度	0.07mm/min		1mm/min
推力	98N（10kgf）		-
工作溫度	20±10℃
限位傳感器	原點(diǎn)、zui大、zui小		-
線長(zhǎng)	2m
重量	0.29Kg	0.3Kg	0.13Kg		0.14Kg